產(chǎn)品技術(shù)

Products

首頁(yè)

金剛石長(zhǎng)晶設(shè)備

所屬分類：

智能裝備

產(chǎn)品概述

卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體運(yùn)用先進(jìn)工藝，以晶體生長(zhǎng)工藝技術(shù)為導(dǎo)向，研發(fā)出金剛石長(zhǎng)晶設(shè)備。其所使用的真空微波電漿系統(tǒng)是智能化、高科技真空電漿運(yùn)用的主流。

立即聯(lián)系

金剛石長(zhǎng)晶設(shè)備

Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金剛石晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)，是實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量金剛石晶體生長(zhǎng)、高純度晶體薄膜沉積、高溫晶體熱處理的專業(yè)設(shè)備。廣泛應(yīng)用于金剛石晶體生長(zhǎng)、原料沉積、晶體熱處理領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

序號(hào)	項(xiàng)目	規(guī)格/參數(shù)
01	尺寸（約）	1450L1130W1880H (mm)
02	重量（約）	380 kg
03	微波功率	6kw/2.45GHZ
04	腔體材料	Stainless Steel
05	冷卻方式	Water-cooling
06	底盤(pán)高度	50mm(2inch)
07	主要?dú)怏w管道	4路MFC
08	工作壓力范圍	10-200 torr
09	真空檢漏值	1X10^-9mbar.l/sec
10	真空泵	Rotary Pump[(18/22)m³/h(50/60HZ)]
11	CDA壓力	5-7kg/cm²
12	水壓	5-7kg/cm²
13	電壓	3Φ400V±10%/50Hz/60Hz
14	電流	30 A

亮點(diǎn)

我們研發(fā)的金剛石專業(yè)設(shè)備屬國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，設(shè)備自動(dòng)化程序高、控制精度高，所生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量?jī)?yōu)，成品率高，能耗極低。生產(chǎn)人員擁有多年CVD法生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)。

關(guān)鍵詞：

MPCVD

化學(xué)氣相沉積法

相關(guān)產(chǎn)品

晶種

晶塊

CVD金剛石單晶片（電子級(jí)）

CVD金剛石單晶片（機(jī)械級(jí)）

CVD金剛石鏡片

金剛石熱沉片

金剛石微波窗口片